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我們在哪?
展會時間:8月31-9月2日
展館地址:無錫太湖國際博覽中心
英福康展位:B3館 453展位


現場看什么?
LINXON® LX218 氦氣和氫氣檢漏儀

LINXON LX218 來自英福康自有國產品牌"靈訊",融合歐洲精密技術與中國制造智慧,兼具高品質與高性價比。
在半導體制造中,刻蝕、沉積等工藝對真空腔體密封性要求極為苛刻,微小泄漏便可能導致整批晶圓報廢。LX218最快響應時間僅0.5秒,最小可檢測泄漏率<5×10?13 Pa·m3/s,快速精準定位泄漏點,為半導體產線良率保駕護航。離子源核心部件提供3年質保,堅固耐用,從容應對半導體現場復雜環境。

薄膜沉積工藝中,膜厚均勻性與速率控制精度直接影響芯片性能。Zevision® IMC300采用英福康ModeLock測量系統,厚度精度達0.5%,頻率分辨率±0.00656 Hz,以 zhuo yue 的厚度精度和極低的速率噪聲最大限度提升再現性與均勻性。ModeLock技術可顯著延長晶體使用壽命,最大限度增加運行次數、降低晶體消耗成本。支持單個控制器同時運行多個源,配備觸摸屏前面板,菜單易于瀏覽、配方構建直觀,幫助半導體制造商在先進制程中實現精準可靠的膜厚控制。

從大氣壓到超高真空,英福康提供覆蓋半導體全工藝流程的真空測量解決方案,以高品質確保生產過程中的真空壓力控制和真空室完整性。
共話半導體制造新未來
在半導體制造的更多關鍵環節,我們同樣提供bu ke huo que 的技術支撐。
gao duan RGA領域業界biao gan ,英福康Transpector系列為PVD、CVD/ALD等苛刻工藝提供長效監測,選擇性蝕刻同樣游刃有余。
面向智能工廠,英福康提供Factory Scheduler智能排產系統與FPS數字孿生系統,貫通全流程實時數據管理與調度,助力半導體制造邁向全面智能化。
展會現場更有專業技術團隊駐守展位,隨時為您答疑解惑,深入交流
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