GT800 NW50ARI8-4A集成式真空節(jié)流蝶閥

GT800：集成式真空節(jié)流蝶閥（閥門(mén) + 控制器一體），韓國(guó) GENIUS，半導(dǎo)體工藝真空壓力控制器

完整訂貨號(hào)：GT800 NW50ARI8?4A

NW50=KF?50 法蘭；ARI8?4A 為執(zhí)行器 / 硬件配置后綴

型號(hào)分段解析

1. GT800一體化真空調(diào)速蝶閥，自帶數(shù)字 PID + 自適應(yīng)自動(dòng)調(diào)諧控制器，用于腔體閉環(huán)壓力控制，不是普通開(kāi)關(guān)閥；面板數(shù)碼管顯示，DB9 傳感器口、DB15 通訊接口，24VDC 供電。

• 功能：通過(guò)調(diào)節(jié)蝶閥開(kāi)度，穩(wěn)定工藝腔真空壓力；半導(dǎo)體刻蝕、鍍膜、RTP 設(shè)備常用。

• 控制模式：PID / Adaptive 自適應(yīng)自動(dòng)調(diào)諧。

2. NW50ISO?KF50 快拆法蘭，通徑 DN50，卡箍密封，O?ring AS568?330。

3. ARI8?4A（執(zhí)行器配置碼）

• ARI：電機(jī)驅(qū)動(dòng)蝶閥執(zhí)行器系列

• 8：執(zhí)行器尺寸規(guī)格

• 4：硬件版本 / 行程參數(shù)

• A：密封材質(zhì)（FKM 氟橡膠，半導(dǎo)體標(biāo)準(zhǔn)）

關(guān)鍵參數(shù)

• 法蘭：NW50(KF50)

• 驅(qū)動(dòng)：步進(jìn)電機(jī)蝶閥（非氣動(dòng)角閥，之前我誤判成角閥，糾正：這是節(jié)流蝶閥，連續(xù)開(kāi)度調(diào)節(jié)）

• 供電：24?VDC

• 接口：J1 DB9（真空規(guī)輸入），J2 DB15（設(shè)備通訊 / IO）

• 漏率：高真空 He 檢漏 1e?9 Pa?m3/s

• 適用壓力范圍：10?3?~1000?mbar 工藝閉環(huán)控壓