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Brooks GC 系列超緊湊型質(zhì)量流量控制器(MFC)

更新時間:2026-08-18      點擊次數(shù):202

Brooks GC 系列超緊湊型質(zhì)量流量控制器(MFC)


GC 系列是Brooks Instrument基于 MEMS 熱式傳感技術(shù)的彈性密封超緊湊型氣體質(zhì)量流量控制器,主打小體積 OEM、臺式實驗室設(shè)備,分為 GC50、GC51 兩個型號。

核心特點

  1. ji zhi緊湊體積:20?×?40?×?60?mm,大幅節(jié)省氣路面板空間,適合設(shè)備內(nèi)部高密度集成Brooks Ins...。

  2. MEMS 熱式傳感,量程比100:1,單臺覆蓋寬流量區(qū)間,減少器件數(shù)量Cross Comp...。

  3. 極低閥門泄漏率,多數(shù)工況無需額外切斷閥;彈性密封(橡膠密封圈),不適用半導體高純 / 腐蝕特氣,面向通用實驗室、生物設(shè)備。

  4. 通訊接口:模擬量(0?5V /0?10V /4?20mA) + Modbus?RTU RS?485,數(shù)字 + 模擬雙兼容Brooks Ins...。

  5. 現(xiàn)場在機校準:配套 BCAT 軟件,設(shè)備不用拆下來,可做校驗、調(diào)參、標定、故障診斷,降低停機維護時間Brooks Ins...。

主要技術(shù)規(guī)格Cross Comp...

表格

項目GC50GC51
滿量程(空氣當量)210?1500 sccm210?5000 sccm
精度1.5% 設(shè)定值 ±0.5% 滿量程同 GC50
重復性±0.25% 設(shè)定值±0.25% 設(shè)定值
量程比(Turndown)100:1100:1
工作壓力上限150 psi(約 10.3?bar)150 psi
工作溫度0?50 ℃0?50 ℃
接觸介質(zhì)密封彈性體密封(Viton)彈性體密封
氣路接頭1/4 卡套、1/4?VCR、6mm 卡套可選1/4 卡套、1/4?VCR、6mm 卡套可選
供電DC 24VDC 24V

兼容氣體

空氣、N?、O?、Ar、CO?、N?O、CO、CH?、C?H?等非腐蝕性氣體。

典型應用場景

注意:該系列為彈性密封,非金屬密封,不用于半導體高潔凈、腐蝕性特種氣體工藝。

Brooks GC 系列超緊湊型質(zhì)量流量控制器(MFC)

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