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XacTorr®（CMX 系列）電容式壓力計(jì)
品牌：Brooks Instrument（布魯克斯），半導(dǎo)體行業(yè)主流數(shù)字式電容薄膜真空計(jì)（Capacitance Manometer），用于直接測(cè)量絕對(duì)真空壓力，不受氣體種類影響，廣泛用于半導(dǎo)體鍍膜、刻蝕、ALD、MOCVD 等工藝Brooks Ins...。
表格
| 型號(hào) | 恒溫溫度 | 典型精度 | 適用場(chǎng)景 |
|---|---|---|---|
| CMX0 | 常溫（無加熱） | ±0.25% 讀數(shù) | 潔凈無冷凝氣體，普通腔體，經(jīng)濟(jì)型 |
| CMX1（CMX45） | 45℃恒溫 | 1?1000?Torr：±0.15% 讀數(shù)；＜1?Torr：±0.25% 讀數(shù) | CVD、PVD，普通薄膜工藝 |
| CMX2（CMX100） | 100℃恒溫 | 同 CMX1 | 易冷凝前驅(qū)體、ALD、MOCVD 金屬有機(jī)源工藝 |
| CMX3（CMX160） | 160℃恒溫 | 10?100?Torr：±0.25% 讀數(shù) | 高沸點(diǎn)、強(qiáng)冷凝氣體、刻蝕腔體 |
全度量程：0.1?/?1?/?2?/?10?/?20?/?100?/?1000?Torr；同時(shí)支持 mBar、Pa 單位輸出
傳感器：zhuan li Mark?IV，Inconel 合金耐腐蝕膜片；自帶顆粒 / 可凝物沉降區(qū)，減少頻繁校零，延長(zhǎng)壽命Cross Comp...
動(dòng)態(tài)范圍：4 個(gè)數(shù)量級(jí)
輸出接口
模擬：0?10?Vdc
數(shù)字：RS485、DeviceNet、EtherNet/IP
溫控：雙區(qū)溫控，控溫精度 ±0.1℃；溫度未達(dá)標(biāo)禁止調(diào)零（Intelli?Touch 智能調(diào)零），避免誤校零
零點(diǎn)溫漂：0.002% FS/℃；滿量程溫漂：0.02% FS/℃
全數(shù)字化架構(gòu)，摒棄老式電位器，降低電子漂移；多階數(shù)字校準(zhǔn)，實(shí)時(shí)補(bǔ)償環(huán)境溫度
獨(dú)立 RS485 診斷端口：不干擾設(shè)備主通訊，可在線監(jiān)控、數(shù)據(jù)采集、故障排查
可選快速響應(yīng)傳感器，適配閉環(huán)壓力控制
配套 XacTorr®?GUI 軟件，用于參數(shù)配置、讀取、診斷
CMC：僅常溫、只有 0?10V 模擬輸出、無數(shù)字總線，低成本通用鍍膜
XacTorr?CMX：可加熱恒溫、數(shù)字 + 模擬雙輸出、高精度、半導(dǎo)體工藝級(jí)，抗污染抗漂移
半導(dǎo)體設(shè)備：PVD/CVD/ 刻蝕 / ALD/MOCVD；真空鍍膜；科研真空腔體；需要精確絕對(duì)壓力測(cè)量的工藝。
選型關(guān)鍵點(diǎn)：工藝是否存在可凝氣體，以此選擇 45/100/160℃加熱型號(hào)；再確定滿量程（Torr）。
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