模塊化氦檢漏儀標準使用流程示例（ULVAC 愛發科模塊化機型，自動化產線場景）

一、設備組成（模塊化拆分單元）

1. 氦檢主機模塊（HELIOT 檢測核心）

2. 干式真空泵組模塊（預抽真空）

3. 標準氣閥 / 分流管路模塊

4. 工控觸摸控制單元（外部總控，模塊無法單獨運行）

   配套工裝：工件密封測試腔、氦氣噴xi qiang、標準漏孔校準件

二、開機前準備步驟

1. 模塊接線與氣路檢查

• 分別對接真空泵模塊、檢漏主機、閥組模塊的通訊線纜、真空管路；確認各模塊接口密封圈無破損。

• 連接外部工控總控，單獨模塊無操作面板，所有參數只能在總控屏設置。

• 接入壓縮空氣（0.5~0.7MPa）、氦氣儲罐，確認氣路無泄漏。

2. 工裝與工件安裝

   將待測工件（如電池殼體、空調管路）固定至密封測試工裝，閉合腔體鎖扣，保證腔體wan quan密封。

3. 參數預設（外部總控操作）

   總控界面設置：抽氣時間、檢漏等待時間、判定漏率閾值、排氣時長；調用對應產品檢測程序模板。

三、完整自動檢漏流程（標準節拍示例）

步驟 1：預抽真空階段（真空泵模塊獨立工作）

步驟 2：模式切換，檢漏待機

步驟 3：噴吹 / 充氦檢漏檢測

1. 噴吹法（外側檢漏）：人工 / 自動機械手使用氦qi qiang，沿工件焊縫、接頭處勻速噴吹氦氣；若工件存在漏孔，氦氣進入真空腔，檢漏模塊捕捉氦信號。

2. 充氦法（內腔檢漏）：閥組模塊向工件內部充入定量氦氣，外部腔體抽真空，檢測逸出氦氣濃度。

   總控實時顯示瞬時漏率曲線，模塊化系統可同步采集多工位數據。

步驟 4：合格判定與排氣復位

1. 若實測漏率＜設定閾值：總控判定 OK，界面亮綠燈，閥組模塊執行腔體破真空排氣；

2. 若漏率超標：判定 NG，聲光報警，系統自動保存漏率數據、記錄工件編號，便于追溯。

3. 排氣完成后，工裝自動開蓋，取出工件，進入下一輪循環。

四、模塊化設備單獨維護操作示例

1. 真空泵模塊保養：產線不停機，斷開真空泵模塊通訊、管路，單獨拆卸更換濾芯；檢漏主機、閥組模塊保持在線，其余工位持續生產。

2. 檢漏主機校準：僅停機檢測模塊，真空泵、閥組正常工作，使用標準漏孔單點校準傳感單元。

3. 閥組更換：單一電磁閥損壞，僅更換閥組模塊內對應閥體，無需拆解整套真空管路。

五、離線簡易手動操作示例（調試場景）

1. 在外部總控切換「手動調試模式」，可單獨控制任一模塊動作：單獨啟停真空泵、單獨開啟檢漏、單獨開關閥組；

2. 單點測試：單獨啟動檢漏模塊，手持標準漏孔貼近檢測口，驗證設備檢測精度；

3. 多工位拓展調試：新增一套閥組 + 真空泵模塊接入總控，1 臺工控同步控制 2 套檢漏單元，實現雙工位并行檢測。

六、操作注意事項（模塊化te you 要點）

1. ?? 禁止脫離外部總控單獨啟動單個模塊，無控制系統保護易造成真空過載、模塊損壞；

2. 模塊拆裝后，必須在總控內重新匹配通訊地址，否則各模塊無法聯動；

3. 多模塊并行產線，定期檢查模塊間通訊線纜，接口松動會導致抽氣、檢漏節拍紊亂；

4. 便攜場景不適用：模塊化分體結構無法移動單機檢測，現場上門檢漏優先選用獨立一體式檢漏儀