一、產品基礎信息

• 品牌：ULVAC 日本愛發科（真空設備頭部廠商）

• 設備名稱：HELIOT MONO 緊湊型集成式氦檢漏儀（Helium Leak Detector）

• 定位：專為自動化產線、真空設備配套嵌入設計的模塊式檢漏設備，非手持獨立臺式機型

二、外觀接口解讀（圖中背面）

1. 兩個真空法蘭口

• PUMP LINE：前級泵連接口

• TEST PORT：被測工件檢漏接口

2. 電氣通訊接口區

• 電源輸入端子：整機供電

• 串口 / 網口：RS232、以太網通訊，對接產線 PLC

• 大尺寸 D-SUB 多針接口：數字 IO 控制、報警輸出、外部觸發，適配自動化流水線聯動

3. 側面格柵：分子泵 / 機械泵散熱風道

三、核心特性

1. 小型輕量化

   尺寸 360×229×310 mm，整機約 13 kg，可直接集成在真空腔體、自動化測試工裝內部，節省產線空間。

2. 高速檢測

   優化抽氣與測量回路，大幅縮短單件檢漏節拍，提升生產線吞吐量；100Pa 下抽速 3.0 L/s，允許被測腔室最高 100Pa 壓力直接接入檢測。

3. 高靈敏度

   最小可檢漏率＜5×10?13 Pa?m3/s，覆蓋精密零部件微漏檢測需求；支持氦氣（?He）標準示蹤檢測。

4. 易維護設計

   外殼免工具拆卸，內部離子源、過濾組件更換簡單，產線停機維護時間短。

5. 全自動化適配

   完備數字 IO、總線通訊，支持外部觸發、自動清零、漏率信號上傳、故障報警聯動，適配半導體、真空鍍膜、汽車零部件氣密自動化產線。

四、典型應用場景

• 半導體真空腔體、晶圓載具檢漏

• 鋰電池 / 燃料電池封裝氣密性檢測

• 真空鍍膜、光學真空設備腔體測漏

• 空調壓縮機、閥門、傳感器等精密零部件自動化氣密檢測

• 醫療真空器械、航天小型部件檢漏

五、使用優勢