1. 完整料號：3PC1-001-0000

• PCG550：鎢絲皮拉尼 + 電容膜片復合寬量程真空計（PCG552 鎳絲、PCG554 陶瓷涂層為耐腐蝕款）

• FCC：電氣接口為 FCC68 8 針圓形航空插頭

• 16KF：真空法蘭 DN16 ISO-KF 標準快拆法蘭

2. 產地：列支敦士登 INFICON（英福康）

二、核心測量參數

1. 量程：5×10?? mbar ~ 1500 mbar（覆蓋大氣→中真空）

2. 精度

• 950~1050 mbar：±2.5%（大氣壓段高精度）

• 100~950 mbar：±5%

• 低真空段皮拉尼連續延伸測量

3. 核心優勢

• 10 mbar 以上不受氣體種類影響（電容膜片獨立測量），可直接測大氣、快速充氣放氣腔室

• 自帶快速大氣檢測，縮短腔體抽放氣周期

• 雙傳感器實時工作，寬區間無縫切換

三、電氣規格（FCC68 8 針接口）

• 供電：DC 15~30V，功耗≤2.5W（無總線）

• 模擬輸出：對數信號 1.286V / 十倍壓（0000 尾號標準輸出）

• 輸出阻抗：4.7Ω，短路保護；負載阻抗＞10kΩ

• 響應時間：＜30ms

• 自帶 2 路壓力開關閾值（SP1/SP2）

四、機械與環境

1. 法蘭：DN16 KF，標準密封圈卡箍安裝，腔體容積 4.7cm3，整機約 136gINFICON

2. 耐壓：允許絕對壓力≤5bar，爆破壓力 10bar

3. 溫度

• 工作環境：10~50℃

• 法蘭烘烤最高 80℃（標準短管款）

4. 防護等級：IP40

五、典型應用場景

• 半導體 / 光伏 Loadlock 真空腔體預抽監測

• 鍍膜設備前級真空、粗抽壓力控制

• 真空腔體充氣 / 放氣安全聯鎖

• 普通工業中低真空全過程壓力監控