真空用步進電機

? 兩大基礎系列

（兩相）步距角：1.8°法蘭規格：28/42/56/60/86mm（NEMA 標準）適合：一般高真空，半導體真空平臺、真空平移臺

（五相，真空主力款）?步距角：0.72°，細分后定位精度ji gao 、振動小法蘭：28/42/60mm優勢：低速平穩、分辨率高，是真空精密定位shou xuan ；可做到UHV 超高真空，最高耐溫可達 200℃，可做耐輻照版本（空間 / 核設備）

真空定制改造要點（真空電機標準改動）

• 繞組：Kapton 聚酰亞胺低放氣絕緣，無普通油漆

• 軸承潤滑：UHV 版本采用固體干膜潤滑（二硫化鉬）；高真空版本全氟聚醚真空潤滑脂；出廠烘烤除氣，控制 TML/CVCM 放氣指標

• 線纜：PI/PTFE 低逸出導線，真空饋通接頭配套，普通橡膠線纜全部剔除

• 殼體：無噴漆，不銹鋼 / 裸鋁合金

• 可選配置：內置真空編碼器閉環（防失步）、真空電磁剎車、減速齒輪（諧波 / 行星減速）、雙出軸

驅動器依然放在大氣側，不進真空腔

真空能力

• 低真空、高真空、超高真空 UHV（10??Pa 級別）均可定制

• UHV 機型支持高溫烘烤除氣（腔體烘烤）

• 散熱：真空無對流，必須降額使用，高功率方案可增加熱沉 / 水冷

• 極限耐溫：最高 200℃，可定制低溫版本

典型應用

半導體 PVD/ALD 鍍膜機、真空探針臺、真空光學調整臺、電子顯微鏡內部運動機構、同步輻射、航天真空艙、科研超高真空實驗平臺。

1. 目標真空度（是否 UHV、是否需要腔體烘烤溫度）

2. 法蘭尺寸（28/42/60…）、保持扭矩、轉速、占空比

3. 兩相 1.8° / 五相 0.72°

4. 是否要內置編碼器、剎車、減速

5. 放氣指標 TML/CVCM、是否耐輻射

6. 線纜出線方式、饋通接口