累積泄漏檢測儀操作方法
 

　　說明：LDS3000?AQ 為常壓累積法檢漏，主機只檢測示蹤氣體濃度；累積腔、工件充氣系統、腔體攪拌風扇、吹掃系統均為配套工裝，不屬于主機INFICON。操作分為：開機預熱、參數配置、校準、單次測量、產線自動模式、關機維護。支持 CU1000 手持操作單元操作，也可通過 IO / 現場總線由 PLC 全自動控制INFICON。
 

　　一、開機上電流程
 

　　確認硬件連接：質譜模塊 24V 供電、前級泵供電、采樣管路連接累積腔采樣口；CU1000 操作單元、IO1000 模塊、總線接線完成。
 

　　開啟前級機械泵，再接通質譜模塊 24V 電源，儀器自動啟動。
 

　　系統自動啟動渦輪分子泵，預熱時間<3?min，等待質譜陰極點亮、儀器進入就緒狀態，消除初始背景基線INFICON。
 

　　?? 必須等儀器就緒，背景穩定后再做測試；剛開機禁止直接測量。
 

　　二、基礎參數設置(CU1000 操作單元)
 

　　優先使用內置 AQ 向導(AQ Wizard) 完成全套累積模式配置，適合新手；也可手動逐項設置ManualsLib。
 

　　運行模式選擇：選擇 AQ?累積模式(不要選真空檢漏 / 嗅探模式)。
 

　　示蹤氣體選擇：
 

　　氦氣 He(質量數 4)
 

　　成型氣 95% N?+5% H?(氫氣 H?，質量數 2)
 

　　漏率單位：常用 mbar·l/s，按需切換 Pa?m³/s。
 

　　累積腔關鍵參數(AQ 核心參數)
 

　　表格
 

　　參數說明
 

　　累積腔容積輸入實際腔體體積 L，計算漏率必須參數
 

　　累積時間示蹤氣體富集時間，根據漏率規格設定，幾百 ms~ 幾十 s
 

　　吹掃時間每次測試結束，吹掃腔體，清除殘留示蹤氣體
 

　　機械因子(Machine Factor)腔體、管路補償系數，校準后得到
 

　　判廢閾值設置 OK/NG 漏率限值，儀器自動輸出 IO 信號
 

　　開啟腔內攪拌風扇(工裝)，保證腔體內示蹤氣體濃度均勻，否則漏率讀數偏差大INFICON。
 

　　三、零點與校準(非常關鍵，影響精度)
 

　　AQ 模式必須校準，分為零點 ZERO、外部標準漏孔校準INFICON。
 

　　1. ZERO 零點清零
 

　　累積腔內部無工件，執行腔體吹掃，腔內示蹤氣體回到環境本底，執行【ZERO】，把當前環境背景置零。
 

　　建議：每班開機、環境變化、更換氣體后執行 ZERO。
 

　　2. 外部標準漏孔校準
 

　　將已知標準漏孔放置在累積腔內部；漏孔通入選定示蹤氣體。
 

　　進入 AQ 校準菜單，輸入標準漏孔標稱漏率值。
 

　　啟動校準流程：儀器執行完整累積?測量周期，自動計算出機械因子并保存。
 

　　校準完成后，拿開標準漏孔，做一次驗證測試，確認讀數與標準漏孔一致。
 

　　周期建議：每日開機校準；更換腔體、管路、氣體后必須重新校準。
 

　　四、手動測試完整步驟(單工件操作流程)
 

　　工件預處理：工件內部充入規定壓力的示蹤氣體，確認工件充氣閥關閉。
 

　　將充好氣工件放入累積腔，關閉腔門，腔體密封。
 

　　觸發開始測量(CU1000 按開始，或 IO 觸發)
 

　　階段 1：等待 / 累積階段：工件泄漏示蹤氣體，在密閉腔體內富集，風扇攪拌混勻。
 

　　階段 2：采樣測量階段：儀器抽取腔體內氣體，質譜檢測示蹤氣體濃度，結合腔體體積、時間換算出工件實際漏率。
 

　　階段 3：判定輸出：儀器對比閾值，顯示 OK 合格 / NG 不合格；繼電器 IO 同步輸出結果信號。
 

　　測試完成，啟動腔體吹掃：通入新鮮空氣置換，把腔內示蹤氣體排干凈。吹掃完成，方可打開腔門取出工件，準備下一件測試。
 

　　重點：上一件工件殘留示蹤氣體會造成下一件虛高漏率，吹掃步驟不可省略。