累積泄漏檢測儀操作方法
 

　　說明：LDS3000?AQ 為常壓累積法檢漏，主機只檢測示蹤氣體濃度；累積腔、工件充氣系統(tǒng)、腔體攪拌風(fēng)扇、吹掃系統(tǒng)均為配套工裝，不屬于主機INFICON。操作分為：開機預(yù)熱、參數(shù)配置、校準(zhǔn)、單次測量、產(chǎn)線自動模式、關(guān)機維護。支持 CU1000 手持操作單元操作，也可通過 IO / 現(xiàn)場總線由 PLC 全自動控制INFICON。
 

　　一、開機上電流程
 

　　確認(rèn)硬件連接：質(zhì)譜模塊 24V 供電、前級泵供電、采樣管路連接累積腔采樣口；CU1000 操作單元、IO1000 模塊、總線接線完成。
 

　　開啟前級機械泵，再接通質(zhì)譜模塊 24V 電源，儀器自動啟動。
 

　　系統(tǒng)自動啟動渦輪分子泵，預(yù)熱時間<3?min，等待質(zhì)譜陰極點亮、儀器進入就緒狀態(tài)，消除初始背景基線INFICON。
 

　　?? 必須等儀器就緒，背景穩(wěn)定后再做測試；剛開機禁止直接測量。
 

　　二、基礎(chǔ)參數(shù)設(shè)置(CU1000 操作單元)
 

　　優(yōu)先使用內(nèi)置 AQ 向?qū)?AQ Wizard) 完成全套累積模式配置，適合新手；也可手動逐項設(shè)置ManualsLib。
 

　　運行模式選擇：選擇 AQ?累積模式(不要選真空檢漏 / 嗅探模式)。
 

　　示蹤氣體選擇：
 

　　氦氣 He(質(zhì)量數(shù) 4)
 

　　成型氣 95% N?+5% H?(氫氣 H?，質(zhì)量數(shù) 2)
 

　　漏率單位：常用 mbar·l/s，按需切換 Pa?m³/s。
 

　　累積腔關(guān)鍵參數(shù)(AQ 核心參數(shù))
 

　　表格
 

　　參數(shù)說明
 

　　累積腔容積輸入實際腔體體積 L，計算漏率必須參數(shù)
 

　　累積時間示蹤氣體富集時間，根據(jù)漏率規(guī)格設(shè)定，幾百 ms~ 幾十 s
 

　　吹掃時間每次測試結(jié)束，吹掃腔體，清除殘留示蹤氣體
 

　　機械因子(Machine Factor)腔體、管路補償系數(shù)，校準(zhǔn)后得到
 

　　判廢閾值設(shè)置 OK/NG 漏率限值，儀器自動輸出 IO 信號
 

　　開啟腔內(nèi)攪拌風(fēng)扇(工裝)，保證腔體內(nèi)示蹤氣體濃度均勻，否則漏率讀數(shù)偏差大INFICON。
 

　　三、零點與校準(zhǔn)(非常關(guān)鍵，影響精度)
 

　　AQ 模式必須校準(zhǔn)，分為零點 ZERO、外部標(biāo)準(zhǔn)漏孔校準(zhǔn)INFICON。
 

　　1. ZERO 零點清零
 

　　累積腔內(nèi)部無工件，執(zhí)行腔體吹掃，腔內(nèi)示蹤氣體回到環(huán)境本底，執(zhí)行【ZERO】，把當(dāng)前環(huán)境背景置零。
 

　　建議：每班開機、環(huán)境變化、更換氣體后執(zhí)行 ZERO。
 

　　2. 外部標(biāo)準(zhǔn)漏孔校準(zhǔn)
 

　　將已知標(biāo)準(zhǔn)漏孔放置在累積腔內(nèi)部；漏孔通入選定示蹤氣體。
 

　　進入 AQ 校準(zhǔn)菜單，輸入標(biāo)準(zhǔn)漏孔標(biāo)稱漏率值。
 

　　啟動校準(zhǔn)流程：儀器執(zhí)行完整累積?測量周期，自動計算出機械因子并保存。
 

　　校準(zhǔn)完成后，拿開標(biāo)準(zhǔn)漏孔，做一次驗證測試，確認(rèn)讀數(shù)與標(biāo)準(zhǔn)漏孔一致。
 

　　周期建議：每日開機校準(zhǔn)；更換腔體、管路、氣體后必須重新校準(zhǔn)。
 

　　四、手動測試完整步驟(單工件操作流程)
 

　　工件預(yù)處理：工件內(nèi)部充入規(guī)定壓力的示蹤氣體，確認(rèn)工件充氣閥關(guān)閉。
 

　　將充好氣工件放入累積腔，關(guān)閉腔門，腔體密封。
 

　　觸發(fā)開始測量(CU1000 按開始，或 IO 觸發(fā))
 

　　階段 1：等待 / 累積階段：工件泄漏示蹤氣體，在密閉腔體內(nèi)富集，風(fēng)扇攪拌混勻。
 

　　階段 2：采樣測量階段：儀器抽取腔體內(nèi)氣體，質(zhì)譜檢測示蹤氣體濃度，結(jié)合腔體體積、時間換算出工件實際漏率。
 

　　階段 3：判定輸出：儀器對比閾值，顯示 OK 合格 / NG 不合格；繼電器 IO 同步輸出結(jié)果信號。
 

　　測試完成，啟動腔體吹掃：通入新鮮空氣置換，把腔內(nèi)示蹤氣體排干凈。吹掃完成，方可打開腔門取出工件，準(zhǔn)備下一件測試。
 

　　重點：上一件工件殘留示蹤氣體會造成下一件虛高漏率，吹掃步驟不可省略。