優勢 • 創新型增壓泵 快速且精確，縮短了響應時間，提高了氦氣清除速率，尤其適用于大量氦氣。 • 級泵 抽空時間最快，非常耐用，維護量極低，能夠承受水蒸氣壓。 • 系統耐用 極耐受排氣沖擊的影響；僅需要很少的維護。 • I·CAL 采用節省時間的軟件算法：將噪音將至水平，不忽略細節，例如輕微振蕩。 • I·ZERO 2.0：INFICON專有技術 氦氣本底濃度低，檢測時間最短；能夠可靠地檢測出最小泄露面積的漏點。 • 大漏檢測模式：INFICON專有技術 從大氣壓開始進行泄露檢測；噴射法也可以進行大規模檢漏。 • HYDRO·S：INFICON專有技術 刪除信號中的含水量數據，在檢測的開始迅速達到低本底濃度水平。 • I·CHECK 測量周圍空氣中的氦氣濃度，確保測量條件適當。
 

　　應用 • 半導體制造 • 平面屏幕制造 • 太陽能電池制造 • 航空航天
 

　　The UL6000 Fab是SEMI領域檢漏儀，精確度、耐 用性和可靠性方面的性能超出其他所有設備。這款業界檢漏儀可縮減檢測流程耗時，感應操作可幫助Semi Fabs的維護保養團隊在最短的時間內找出泄露面積最小的 漏點。憑借著36 l/s的氦抽速率，UL6000 Fab的性能至少比 市面上的任何其他檢漏儀優化50%。響應時間更快，基本 性能可使任何Semi Fabs維護保養團隊取勝。設備能夠更快 地顯示泄露，因此更容易找到小面積漏點，可靠性超過以 往任何設備。另外，本底氣的濃度下降速度快得多，所以 可通過噴射氮氣更快地檢測下一個泄露檢查點的密封性， 使用戶能夠在明顯更短的時間內完成所有檢測點的操作。 考慮到大多數泄露涉及多個(多大數百個)泄露檢查點，這 款檢漏儀縮短了代價高昂的采樣探頭停機時間，另外還能 提高生產力。總的來說，維護減少可縮短停機時間，提高 生產力，進而降低成本，同時減少Semi Fabs對環境造成的 影響。