Brooks Sho?Rate™ 玻璃管轉子流量計（變面積 VA 流量計）

品牌：Brooks Instrument（布魯克斯），半導體、實驗室、工藝設備小流量目視流量計，常用于工藝氣體吹掃、載氣、液體小流量觀測。

主要型號家族

1. 1250A / 1255A：經濟型 OEM 款，面板安裝

• 1250A：精度 ±5% FS；1255A：±3% FS

2. 1350G / 1355G：工業主流，半導體設備最常見

• 1350G：±5%FS；1355G：±3%FS，重復性 0.25% FS

3. 1358(F)：大流量版本，精度 ±10% FSBrooks Ins...

核心技術參數Brooks Ins...

• 原理：玻璃管浮子（轉子）變面積流量計，僅本地目視讀數，無電信號輸出

• 介質：氣體、液體

• 殼體：硼硅玻璃測量管；端座：鋁 / 黃銅 / 316SS；密封：Buna?N、Viton、Kalrez

• 浮子：316SS、藍寶石、玻璃、鉭等可選

• 耐壓：200 psig（13.8?bar）

• 溫度：1?~?121?℃

• 量程比：10:1

• 接口：1/8"、1/4" NPT；卡套；VCR；面板鎖螺母安裝

• 選項：內置針閥（M 旋鈕）、高低流量報警開關、可互換測量管組件 EZ?CHANGE™

注意：刻度是標定工況（空氣 / 水，1.01bar，21℃），其它氣體 / 壓力必須做流量換算，不能直接讀刻度值BKW Instru...。

半導體設備常見用法

1. 腔體吹掃、惰性氣體旁路、起泡器鼓泡流量指示；

2. 配合 MFC 做旁路參考顯示；

3. 只做觀察指示，不能閉環自動控制。

常見故障

1. 浮子卡滯：顆粒污染、壓差沖擊，需要清洗 / 更換測量管組件；

2. 泄漏：O?ring 老化（Viton/Kalrez 優先半導體工況）；

3. 讀數不準：實際壓力溫度偏離標定條件，不是流量計損壞；

4. 玻璃炸裂：嚴禁超壓、熱沖擊。