XacTorr®（CMX 系列）電容式壓力計

品牌：Brooks Instrument（布魯克斯），半導(dǎo)體行業(yè)主流數(shù)字式電容薄膜真空計（Capacitance Manometer），用于直接測量絕對真空壓力，不受氣體種類影響，廣泛用于半導(dǎo)體鍍膜、刻蝕、ALD、MOCVD 等工藝Brooks Ins...。

型號區(qū)分（按恒溫溫度）

表格

核心規(guī)格參數(shù)

1. 全度量程：0.1?/?1?/?2?/?10?/?20?/?100?/?1000?Torr；同時支持 mBar、Pa 單位輸出

2. 傳感器：zhuan li  Mark?IV，Inconel 合金耐腐蝕膜片；自帶顆粒 / 可凝物沉降區(qū)，減少頻繁校零，延長壽命Cross Comp...

3. 動態(tài)范圍：4 個數(shù)量級

4. 輸出接口

• 模擬：0?10?Vdc

• 數(shù)字：RS485、DeviceNet、EtherNet/IP

5. 溫控：雙區(qū)溫控，控溫精度 ±0.1℃；溫度未達(dá)標(biāo)禁止調(diào)零（Intelli?Touch 智能調(diào)零），避免誤校零

6. 零點溫漂：0.002% FS/℃；滿量程溫漂：0.02% FS/℃

主要特點

• 全數(shù)字化架構(gòu)，摒棄老式電位器，降低電子漂移；多階數(shù)字校準(zhǔn)，實時補償環(huán)境溫度

• 獨立 RS485 診斷端口：不干擾設(shè)備主通訊，可在線監(jiān)控、數(shù)據(jù)采集、故障排查

• 可選快速響應(yīng)傳感器，適配閉環(huán)壓力控制

• 配套 XacTorr®?GUI 軟件，用于參數(shù)配置、讀取、診斷

與老款 CMC 系列對比Brooks Ins...

• CMC：僅常溫、只有 0?10V 模擬輸出、無數(shù)字總線，低成本通用鍍膜

• XacTorr?CMX：可加熱恒溫、數(shù)字 + 模擬雙輸出、高精度、半導(dǎo)體工藝級，抗污染抗漂移

典型應(yīng)用

半導(dǎo)體設(shè)備：PVD/CVD/ 刻蝕 / ALD/MOCVD；真空鍍膜；科研真空腔體；需要精確絕對壓力測量的工藝。

選型關(guān)鍵點：工藝是否存在可凝氣體，以此選擇 45/100/160℃加熱型號；再確定滿量程（Torr）。