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石英晶體微天平（QCM）在半導(dǎo)體工藝控制中應(yīng)用已久，其工作原理基于一個(gè)明確的物理現(xiàn)象：石英晶體以其固有頻率振動(dòng)，當(dāng)表面沉積物質(zhì)時(shí)，即使質(zhì)量?jī)H為納克級(jí)，振動(dòng)頻率也會(huì)相應(yīng)降低。通過(guò)測(cè)量頻率變化，即可精確推算出沉積質(zhì)量。這使得QCM成為一臺(tái)專用于超薄膜測(cè)量的高精度“天平"，能夠直接嵌入工藝腔室，提供原位實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)。
成熟的量產(chǎn)應(yīng)用
在CVD和ALD工藝中，QCM傳感器長(zhǎng)期承擔(dān)兩項(xiàng)關(guān)鍵功能：
安瓿耗盡檢測(cè)
前驅(qū)體輸送是沉積工藝中影響較大的變量之一。安瓿內(nèi)前驅(qū)體耗盡會(huì)改變進(jìn)入反應(yīng)腔的濃度，而安裝在進(jìn)氣管路上的QCM傳感器能在影響薄膜質(zhì)量之前實(shí)時(shí)捕捉這一變化。盡早發(fā)現(xiàn)耗盡，有助于維持前驅(qū)體供應(yīng)穩(wěn)定、保證薄膜沉積一致性，避免下游環(huán)節(jié)出現(xiàn)異常。
清洗終點(diǎn)檢測(cè)
腔室清洗消耗化學(xué)品并占用時(shí)間。通過(guò)QCM監(jiān)測(cè)腔室壁面的材料去除情況，可以準(zhǔn)確判定清洗結(jié)束時(shí)刻，既能防止清洗不che di，又能避免過(guò)度清洗造成的浪費(fèi)。結(jié)合厚度計(jì)量相關(guān)性分析，QCM在腔室工藝狀態(tài)與晶圓薄膜質(zhì)量之間建立起直接的反饋循環(huán)。
這兩項(xiàng)應(yīng)用已成熟并經(jīng)量產(chǎn)驗(yàn)證，在半導(dǎo)體產(chǎn)線中被廣泛部署。
先進(jìn)工藝帶來(lái)的新挑戰(zhàn)
隨著半導(dǎo)體工藝向更小節(jié)點(diǎn)推進(jìn)，工藝環(huán)境日趨復(fù)雜。不同設(shè)備和工藝中的溫度、壓力等條件差異顯著，這些變化會(huì)對(duì)QCM測(cè)量精度產(chǎn)生干擾，而傳統(tǒng)的校準(zhǔn)方法難以wan quan 補(bǔ)償。要在全工況下保持高精度和可靠性，需要比傳統(tǒng)QCM固件更具適應(yīng)性的信號(hào)處理手段。
人工智能如何讓QCM更聰明
人工智能為QCM測(cè)量帶來(lái)了三個(gè)層面的能力提升：
英福康的AI解決方案
英福康的FabGuard智能工藝監(jiān)控系統(tǒng)，正是基于上述AI技術(shù)路線開(kāi)發(fā)，將深度學(xué)習(xí)與邊緣計(jì)算引入QCM測(cè)量方案，在保留高精度傳感能力的同時(shí)，賦予系統(tǒng)更強(qiáng)的適應(yīng)性和預(yù)測(cè)能力。
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