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目前我們公司有ADL產品,歡迎大家的咨詢!
尊敬的新老客戶:
您們好!目前我們公司有ADL產品,價格從優,歡迎大家的垂詢!
接下來我為大家介紹期中一款產品,ADL 雙極 - 濺射 GXB還有HXB的產品!
德國 ADL Analoge & Digitale Leistungselektronik GmbH,真空鍍膜專用直流 / 脈沖電源品牌,行業主流中頻 / 雙極濺射電源供應商。
2. 雙極 - 濺射 Bipolar Sputtering
雙極性脈沖磁控濺射,正負交替電壓,用于絕緣靶(氧化鋁、氧化鋯、氮化硅等),正向脈沖中和靶表面積累正電荷,抑制靶面打火、消除靶中毒。
3. 雙極脈沖產生器 SB
SB = Separate Bipolar,外置獨立雙極脈沖模塊(SB150/SB300),不能單獨使用,必須搭配 GX/HX 直流電源主機組合輸出雙極中頻脈沖(22.5kHz)。
組合形式:GX + SB / HX + SB
工作邏輯:GX/HX 提供直流功率母線,SB 模塊做 H 橋正負脈沖切換,輸出對稱 / 非對稱雙極方波。
GXB整機
GXB后側接口
4. GX / HX 直流電源主機(搭配 SB 外置脈沖器)
表格
型號功率區間定位結構
GX 系列5kW ~ 15kW(GX50~GX150)中小功率濺射,?19" 3U 機箱,緊湊型,適合中小鍍膜機、光學 / 裝飾膜水冷、浮動輸出、極速滅弧
HX 系列15kW ~ 30kW(HX150~HX300)大功率工業濺射,?19" 5U 機箱,可多臺并聯至 240kW,硬質涂層、玻璃大靶材量產線分體水冷、耐惡劣產線環境
二、GXB / HXB 一體化內置雙極脈沖電源(整機一體,無需外置 SB)
命名規則
GXB = GX + Bipolar:GX 直流電源內部集成雙極脈沖電路,一體化整機,無需外接 SB 模塊
HXB = HX + Bipolar:HX 大功率直流電源內置雙極脈沖,大功率一體化雙極濺射電源
核心區別:分體式(GX/HX+SB) vs 一體式(GXB/HXB)
分體方案:GX + SB / HX + SB
兩臺設備:直流主機 GX/HX + 獨立 SB 脈沖發生器
優勢:靈活搭配,可單獨用 GX/HX 做直流濺射,需要雙極時再接 SB;便于后期擴容改造舊設備
劣勢:占用兩層機柜,接線復雜,成本更高
一體方案:GXB / HXB
單臺整機,直流源 + 雙極脈沖模塊集成在同一機箱
代表型號:GXB50(5kW 一體化雙極)
優勢:布線簡潔、占地面積小、調試簡單,新設備標配絕緣靶工藝
劣勢:只能做雙極脈沖,無法單獨切純直流模式
三、工藝用途總結
GX+SB / GXB:中小功率絕緣靶濺射(光學膜、裝飾氧化膜、薄介質層)
HX+SB / HXB:大功率工業量產,大面積玻璃、刀具硬質絕緣涂層、ITO / 氧化物連續鍍膜
SB 外置方案適合一機多用(直流金屬靶 + 雙極絕緣靶切換);GXB/HXB 適合固定絕緣靶生產線
四、關鍵共性參數
標準脈沖頻率:22.5kHz
自帶電流比例閉環控制,自動調節正負脈沖功率配比
內置自動電弧抑制,實時滅弧,保護靶材與電源
全水冷散熱,適配 24h 連續工業生產


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