干式螺桿真空泵是主要是利用一對螺桿，其特點是兩螺桿經精細動平衡校正，由軸承支撐，安裝在泵殼中，螺桿與螺桿之間都有一定的間隙，所以使得干式螺桿真空泵工作時，相互之間無磨擦，運轉平穩，噪音低，工作腔無需潤滑油，干式螺桿泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉塵的氣體場合，極限真空更高。但是在我國使用的螺桿泵主要依靠進口，價格非常昂貴。