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核心技術(shù)與產(chǎn)品分類

1. 熱傳導(dǎo)真空計(jì)

• PGE300 增強(qiáng)型皮拉尼真空計(jì)：采用數(shù)字對(duì)流增強(qiáng)技術(shù)，測量范圍 1.3×10??至 1333 mbar，在大氣壓附近（100-1000 mbar）精度達(dá) 2.5%。鍍金鎢絲設(shè)計(jì)提升抗腐蝕性，可直接替代 MKS 的 Mini-Convectron® 真空計(jì)，適用于光伏層壓機(jī)、單晶爐等工業(yè)設(shè)備。

• PSG55x 系列：提供鎢絲、鎳絲或全陶瓷涂層傳感器，支持腐蝕性環(huán)境。測量范圍 5×10??至 1000 mbar，具備即插即用傳感器更換功能，支持 Profibus DP 等工業(yè)總線協(xié)議。

2. 電離真空計(jì)

• BPG400 復(fù)合真空計(jì)：融合皮拉尼與貝阿德 - 阿爾珀特技術(shù)，量程覆蓋 5×10?1?至 1000 mbar，可重復(fù)性達(dá) 5%。氧化釔銥絲設(shè)計(jì)延長使用壽命，適用于半導(dǎo)體蝕刻、高真空鍍膜等嚴(yán)苛場景。

• Trigon™ BCG 552 三規(guī)合一真空計(jì)：集成三種傳感元件，實(shí)現(xiàn)從大氣壓到超高真空的無縫測量，減少設(shè)備空間占用。

3. 冷陰極真空計(jì)

• PEG100 潘寧真空計(jì)：全金屬冷陰極傳感器，量程 1×10??至 1×10?2 mbar，可在濺射環(huán)境下穩(wěn)定工作。鈦陰極板和等離子點(diǎn)火后降壓設(shè)計(jì)降低污染風(fēng)險(xiǎn)，適用于高真空鍍膜和科研設(shè)備。

• Gemini® MXG 5xx 系列：反磁控管技術(shù)覆蓋 1×10??至 1 atm，支持烘烤至 250℃，適用于半導(dǎo)體工藝中的氣體分析與泄漏檢測。

4. 電容式薄膜真空計(jì)

• CDG025D：采用抗腐蝕陶瓷傳感器，量程 100-1000 Torr，具備快速響應(yīng)（電源接通后秒級(jí)穩(wěn)定）和抗大氣沖擊能力，適用于半導(dǎo)體刻蝕、CVD 等高精度場景。

二、關(guān)鍵應(yīng)用領(lǐng)域

1. 半導(dǎo)體制造

• 晶體拉制：電容真空計(jì)控制硅晶體生長腔內(nèi)壓力，確保材料純度。

• 蝕刻與沉積：BPG400 復(fù)合真空計(jì)實(shí)時(shí)監(jiān)控工藝壓力，Augent® OPG550 光學(xué)氣體分析儀同步監(jiān)測氣體成分，提升刻蝕均勻性。

• 光刻工藝：皮拉尼與冷陰極真空計(jì)組合實(shí)現(xiàn)無泄漏環(huán)境控制，保障光刻精度。

2. 工業(yè)鍍膜

• 真空鍍膜設(shè)備中，PGE300 皮拉尼真空計(jì)精確控制前級(jí)壓力，Gemini® MXG 5xx 冷陰極真空計(jì)監(jiān)測高真空沉積過程，確保膜層厚度均勻性。

3. 科研與航空航天

• 潘寧真空計(jì)用于衛(wèi)星姿控系統(tǒng)真空環(huán)境監(jiān)測，反磁控管真空計(jì)支持航天器發(fā)動(dòng)機(jī)高空模擬測試