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四極質譜殘余氣體分析儀特點應用及在工藝中的效果

發表時間：2011/4/6 點擊次數：2151

四極質譜殘余氣體分析儀特點應用及在工藝中的效果

特點及應用：

•操作簡單

•可靠，方便

•定性或定量分析監測濺射鍍膜反應工藝過程中真空室內的氣體分壓強

•優化工藝過程參數，提高鍍膜產品質量

•在線原位分析真空環境及工藝氣體

•對真空系統檢漏

在工藝中的效果

•改善質量

•提高流片量

•縮小工藝周期
•改進工藝

•減少停機時間
•降低成本

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